GD-70D – стационарный газоанализатор со встроенным ЖК-экраном и насосом для измерения широкого спектра токсичных газов, используемых при производстве полупроводников. Прибор оснащен выходом 4-20 мА для передачи сигнала на РСУ или ПЛК, а также встроенным веб-сервером для удаленного мониторинга и обслуживания газоанализатора.
ОСОБЕННОСТИ:
• Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков
• Интеллектуальные датчики
• Большой ЖК-экран со шкалой
• Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор
• Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга
• Функция самодиагностики
• Простота установки и обслуживания
• Широкий перечень измеряемых газов
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Модель | GD-70D | ||||
Измеряемый газ | Токсичные газы | ||||
Принцип измерений | Электрохимический (ESU) |
Полупроводниковый (SGU) |
Пиролизный (SSU) |
Гальванический (OSU) |
Керамический (NGU) |
Диапазон измерений | Зависит от измеряемого газа | ||||
Пороги сигнализации | Зависит от измеряемого газа | ||||
Погрешность | ±5% показания или ±2%LEL | ||||
Время установления показаний | Т90 = 30 с | ||||
Метод отбора | Принудительный, 0,5 л/мин | ||||
Экран | ЖКД с цифровой индикацией концентрации, наименования газа, расхода, статуса соединения, статуса пиролизатора и неисправностей | ||||
Выход | 4-20 мА | ||||
Интерфейс | PoE (IEEE802.3af) | ||||
Макс.расстояние передачи сигнала | 1,25 км. (кабель CVVS 1,25 мм2) | ||||
Источник питания | DC 24В | ||||
Рабочая температура | 0°C - +40°C, влажность от 30% до 70% без конденсации | ||||
Габариты и вес | 70 x 120 x 150 мм, 0,9 кг. |
СПИСОК ИЗМЕРЯЕМЫХ ГАЗОВ:
Газ | Химическая формула | Диапазон измерения |
Аммиак | NH3 | 0 - 75 ppm |
Арсин | AsH3 | 0 - 0,2 ppm |
Бромоводород | HBr | 0 - 6 ppm |
Водород | H2 | 0 - 2000 ppm |
Гексафторид вольфрама | WF6 | 0 - 9 ppm |
Гексафторид молибдена | MoF6 | 0 - 9 ppm |
Гексахлорид вольфрама | WCl6 | 0 - 15 ppm |
Диборан | B2H6 | 0 - 0,3 ppm |
Дихлорсилан | SiH2Cl2 | 0 - 15 ppm |
Иодоводород | HI | 0 - 5 ppm |
Озон | O3 | 0 - 0,6 ppm |
Оксид азота | NO | 0 - 100 ppm |
Оксид углерода | CO | 0 - 300 ppm |
Оксихлорид фосфора | POCl3 | 0 - 15 ppm |
Пентафторид мышьяка | AsF5 | 0 - 9 ppm |
Пентафторид фосфора | PF5 | 0 - 9 ppm |
Пентахлорид молибдена | MoCl5 | 0 - 15 ppm |
Пентахлорид мышьяка | AsCl5 | 0 - 15 ppm |
Пентахлорид сурьмы | SbCl5 | 0 - 15 ppm |
Пентахлорид фосфора | PCl5 | 0 - 15 ppm |
Силан | SiH4 | 0 - 15 ppm |
Тетрафторид кремния | SiF4 | 0 - 9 ppm |
Тетрафторид серы | SF4 | 0 - 9 ppm |
Тетрахлорид германия | GeCl4 | 0 - 15 ppm |
Тетрахлорид кремния | SiCl4 | 0 - 15 ppm |
Тетрахлорид олова | SnCl4 | 0 - 15 ppm |
Трибромид бора | BBr3 | 0 - 6 ppm |
Трифторид азота | NF3 | 0 - 30 ppm |
Трифторид бора | BF3 | 0 - 9 ppm |
Трифторид мышьяка | AsF3 | 0 - 9 ppm |
Трифторид хлора | ClF3 | 0 - 0,6 ppm |
Трихлорид бора | BCl3 | 0 - 15 ppm |
Трихлорид мышьяка | AsCl3 | 0 - 15 ppm |
Трихлорид фосфора | PCl3 | 0 - 10 ppm |
Трихлорсилан | SiHCl3 | 0 - 15 ppm |
Фосфин | PH3 | 0 - 1 ppm |
Фтор | F2 | 0 - 3 ppm |
Фтороводород | HF | 0 - 9 ppm |
Хлор | Cl2 | 0 - 1,5 ppm |
Хлороводород | HCl | 0 - 15 ppm |