Огромный более чем 20-ти летний опыт производства безмасляных насосов для полупроводниковой промышленности позволил компании Adixen by Pfeiffer Vacuum представить третье поколение насосов с пониженным энергопотреблением.
Насосы основанные на технологии многоступенчатого Рутса, позволяют достичь наивысших характеристик при минимальных затратах на эксплуатацию. Серия A3P обеспечивает возможность энергосбережения до 50% по сравнению с серией 2.
Преимущества
• низкое энергопотребление
• компактность
• технология многоступенчатого Рутса
• контроль температуры и продувки
• высокая коррозионная стойкость
• низкий уровень шума
• низкий уровень вибрации
• соответствие требованиям CE и Semi S2 - 0706
Эффективность
• низкая стоимость владения
• малая занимаемая площадь
• простота установки и подключения
• высокая надежность
• соответствие всем требованиям полупроводниковой промышленности
Применение
• травление
• озоление
• стриппинг
• ионная Имплантация
Единицы измерения | A103P | A603P | A1003P | |
Максимальная скорость откачки 50 ГЦ | м3/час л/мин |
120 2000 |
570 9500 |
900 1500 |
Остаточное давление (без продувки) |
мбар торр |
6,5*10-3 5*10-3 |
3*10-4 2*10-4 |
3*10-4 2*10-4 |
Остаточное давление (с продувки) |
мбар торр |
2,6*10-2 2*10-2 |
10-3 7,5*10-4 |
10-3 7,5*10-4 |
Потребление энергии на предельном давлении 50 Гц |
кВт | 1 | от 1,3 до 1,6 | |
Мощность мотора | кВт | 2,5 | 4,7 | 5 |
Поток охлаждаемой воды | л/мин | 1,5 | ||
Потребление азота | slm | от 5 до 60 | ||
Впускной клапан | DN 50 | DN 100 | DN 100 | |
Выпускной клапан | DN 25 | DN 25 | DN 25 | |
Размеры | Длина, мм Ширина, мм Высота, мм |
684 310 323 |
684 342 662 |
684 342 662 |
Вес | кг | 125 | 2 |