Некоторые преимущества насосов серии АСР:
Благодаря отсутствию трения, не происходит износ рабочих поверхностей и характеристики насоса остаются неизменными в период всего срока эксплуатации по сравнению со спиральными насосами
Благодаря отсутствию трения и масла на элементах насоса соприкасающихся с откачиваемым газом, не происходит загрязнения откачиваемого объёма ни посторонними частицами (материал ротора и статора), ни масляными парами
Большой опыт компании adixen by Pfeiffer Vacuum в производстве и эксплуатации насосов Рутса является гарантией высокой надёжности. Безмасляные насосы adixen by Pfeiffer Vacuum - лидеры по использованию в полупроводниковой отрасли
Недорогое и простое техническое обслуживание предполагает замену несущего подшипника ступени низкого давления каждые 17 000 часов работы и чистку внутренних поверхностей с заменой всех подшипников через каждые 34 000 часов работы
Благодаря относительно небольшим габаритам насосы легко интегрируется в ограниченное пространство
Водяное охлаждение
Модификация для откачки больших объёмов и химстойкая
Общая информация
Безмасляные форвакуумные насосы
Этот тип безмасляных форвакуумных насосов был разработан в ответ на постоянно растущей на рынке вакуумного оборудования потребностью в простых и относительно недорогих (в отличие от насосов, применяемых в полупроводниковой промышленности) безмасляных откачных средствах. Применение безмасляных форвакуумных средств откачки позволяет пользователю перейти на полностью безмасляные откачные системы. Во многих областях, особо требовательных к чистоте откачиваемого объёма от паров масла, возникла необходимость заменить традиционные пластинчато-роторные насосы, работающие по принципу масляного клина, на полностью безмасляные аналоги.
Принципиально, насос серии АСР - это многоступенчатый насос Рутса. Благодаря высокой точности изготовления деталей и хорошей сбалансированности роторов насоса у него полностью отсутствует трение в проточной части, что позволяет избежать применения вакуумного масла, получать особо чистый вакуум, обеспечить длительную эксплуатацию без планового обслуживания. Этот тип насосов отличается компактностью и высокой надёжностью. Насосы серии АСР сравнимы по своим размерам с пластинчато-роторными насосами, однако обеспечивают полностью безмасляную откачку и максимальное разряжение на уровне 10-3 мбар.
Модификации насосов
- Стандартная модификация
Предназначена для работы с некоррозионными чистыми газами.
Основные области применения стандартной модификации:
системы напыления
научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы
вакуумная сушка
установки контроля герметичности
- Химстойкая модификация "G"
Предназначена для откачки газов с примесями и коррозионных газов. Оборудована системой напуска газа для продува подшипников инертным газом.
Рекомендована к применению:
контроль за ходом технологического процесса
ионные процессы
шлюзы и запорные механизмы вакуумных установок, связанных с химически агрессивными средами, реактивные процессы и т.д.
- Модификация для откачки больших объёмов
Насосы специально разработаны для откачки больших объёмов вплоть до 10 м3.
Основные области применения этой модификации:
имитаторы космического пространства
вакуумная сушка
откачка больших объемов
Технические характеристики мощных безмасляных форвакуумных насосов промышленного применения - серия ACP 120 и ACG 600
Модель |
ACP 120 |
ACP 120 G |
ACG 600 |
ACP 600 G |
||||
ACP 120 | ACP 120 для откачки больших объёмов |
ACP 120 G | ACP 120 G для откачки больших объёмов |
ACG 600 | ACG 600 для откачки больших объёмов |
ACG 600 G | ACG 600 G для откачки больших объёмов |
|
Фланец - всасывания, ISO-KF - выхлопа, ISO-KF |
|
|
|
|
|
|
DN100 DN40 |
DN100 DN40 |
Скорость откачки, м3/ч | 95 | 112 | 95 | 112 | 480 | 560 | 480 | 560 |
Предельное давление, без газового балласта, мбар |
3*10-2 | 2*10-2 | 3*10-2 | 2*10-2 | 8*10-3 | 9*10-4 | 9*10-3 | 6*10-3 |
Максимальная величина откачиваемого объёма, м3 |
1 | 10 | 1 | 10 | 10 | 10 | 1 | 10 |
Макс. газовая нагрузка, slm | 80 | 80 | 80 | 80 | 60 | 60 | 60 | 60 |
Тип охлаждения | водяное | водяное | водяное | водяное | водяное | водяное | водяное | водяное |
Минимальный расход охлаждающей воды, л/мин |
5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
Уровень шума, дб | 65 | 65 | 65 | 65 | 68 | 68 | 68 | 68 |
Электропитание | 3ф 200-480 В | 3ф 380-480 В | 3ф 200-480 В | 3ф 380-480 В | 3ф 380-480 В | 3ф 380-480 В | 3ф 200-480 В | 3ф 380-480 В |
Потребляемая мощность при предельном давлении, кВт |
1,3 | 1,5 | 1,3 | 1,5 | 1,8 | 2,0 | 1,8 | 2,0 |
Масса, кг | 205 | 205 | 205 | 205 | 320 | 320 | 320 | 320 |