Большие безмасляные форвакуумные насосы для работы в жёстких условиях серия AD3KH

Взяв за основу проверенные технологии основанные на технологии многоступенчатого Рутса, разработанные и проверенные за последние 20 лет в полупроводниковой промышленности, а также взяв преимущество насосов третьей серии - надежность, Adixen by Pfeiffer Vacuum представляет новую серию сухих насосов.
Эти насосы в состоянии удовлетворить требованиям самого сложного технологического процесса, применяются для производства плоских панелей, фотовольтаики и полупроводников и в процессах требующих высокую скорость откачки по Водороду.
Модельный ряд представлен тремя версиями насосов: AD43KH, AD63KH и AD103KH.

Особенности
• прочная рамная конструкция
• улучшенная коррозионная стойкость
• может работать в сильно запыленной атмосфере

Расширенный температурный диапазон
• исключает конденсацию побочных продуктов с высокой температурой
• предотвращает возможность термических реакций в температурно-чувствительных процессах

Низкая стоимость владения
• капитальный ремонт при наработке 2-3 лет (высокая наработка на отказ)
• низкая потребляемая мощность от 3,6 до 5,8 кВт
• малое потребление охлаждающей воды

Низкий уровень шума

Компьютерная система контроля за параметрами и состоянием насоса

Области применения
• плоские панели
• солнечная энергетика
• полупроводники

Процессы
• осаждение атомного слоя в жестких условиях (на основе Ti)
• плазмохимическое осаждение
• химическое осаждение
• химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений
• травление
• работа с NF3, SiH4 / H2