Компактный встраиваемый безмасляный насос для полупроводниковой промышленности A 200 L с самой высокой производительностью

Насос A 200 L гарантирует высочайшую производительность для приложений с блокировкой нагрузки благодаря пиковой скорости откачки 200 м3/ч, низкому базовому давлению и его пригодности для тяжелых рабочих циклов. Для наглядности: A 200 L совместим с частотой циклов до 300 откачек в час в загрузочной камере на 20 литров, что более чем в три раза превышает максимальную скорость цикла 100 м3/ч модели A 100 L.
A 200 L также подходит для других легких условий эксплуатации - от использования в передаточных камерах по процессам SEM и PVD до камер предварительной очистки.

Низкая стоимость владения
Благодаря современной многоступенчатой конструкции рутс и высокоэффективному двигателю, потребляемая мощность A 200 L является одной из самых низких в своем классе, при базовом давлении всего 0,7 кВт. По сравнению с моделью A 100 L, энергопотребление снижено на 55%, а скорость откачки увеличена вдвое. Это приводит к снижению эксплуатационных расходов и, как следствие к низким затратам содержания.

Простота интеграции: самый компактный насос в своем классе
A 200 L может быть легко интегрирован в существующее оборудование, даже при очень небольшом свободном пространстве. Его площадь менее 0,17 м2 позволяет считать его самым компактным насосом в своем классе. Кроме того, положение на входе можно гибко регулировать в соответствии с требованиями конкретных применений. Его можно устанавливать как вертикально, так и горизонтально, в зависимости от наилучшей пригодности для конкретной системы.

100% взаимозаменяемость
A 200 L на 100% взаимозаменяемы моделью A 100 L. Благодаря одинаковым размерам, а также одинаковым электрическим и водяным системам охлаждения, A 200 L может легко заменить A 100 L, если требуется более высокая производительность. Отпадает необходимость вкладываться в модификации оборудования.

Преимущества для клиентов:

•  Высочайшая производительность и непревзойденная пропускная способность
•  Минимальная занимаемая площадь в своем классе и двойное входное положение позволяют производить легкую системную интеграцию
•  Энергоэффективный и экономичный
•  Интегрированная система самоконтроля
•  Высокая надежность, не требуется профилактическое обслуживание на месте
•  Благодаря 100% взаимозаменяемости с A 100 л, процесс
• производительность можно легко повысить, заменив A 100 L на A 200 L